日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100(SEC-N116MGM) 介紹

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100 詳情介紹

SEC-N100質量流量控制器產品概述

HORIBA SEC-N100質量流量控制器專為非芯片半導體制程設計，以滿足該行業逐步統一的制造標準。該系列產品憑借高度的適應性，能夠滿足多種制程規范的需求，提供精確的流量控制和高速響應性，是多種高端制造過程中的優選設備。

SEC-N100質量流量控制器通信與控制接口

SEC-N100系列支持多樣的通訊模式，包括數字式和模擬式，及高級網絡通信協議如DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT。這些功能使其能夠與不同的控制系統兼容，并提供靈活的配置選項。

SEC-N100質量流量控制器應用領域

• 光伏制造：過程控制與現場測量
• 功能玻璃干法鍍膜：等離子體發射控制與過程氣體監測
• 藥品制造：冷凍干燥設備的真空監測與控制
• 環境監測：對PM2.5的精確測量
• 光纖生產：流程氣體質量流量控制
• 實驗室研究與測試：實驗室用氣體質量流量控制

SEC-N100質量流量控制器產品特性

• 多模式通信兼容性：包括RS-485、DeviceNet、Profibus和模擬（電流/電壓）接口，確保與其他系統的無縫整合。
• 可調節氣體和量程：用戶可便捷地根據需求更改氣體類型和流量范圍，提高設備的適用性和靈活性。
• 高精度流量控制：精度達到±1.0%的設定流量，采用與SEC-Z500系列相同的高級sensor和bypass技術，確保流量控制的準確性。
• 快速響應時間：響應時間不超過1秒，在可控流量范圍內提供快速調節，內置PID參數可用于優化響應時間。
• 閥門選項：提供電磁閥（至50SLM）和壓電陶瓷閥（100/200SLM）選擇，適用于不同的流量需求。
• 材質與設計：提供橡膠或金屬密封圈，未經拋光處理的氣路表面，以及僅VCR接口的設計，滿足RoHS環保要求。

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100產品規格

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