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HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測的高級(jí)氣體監(jiān)測儀
HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測的高級(jí)氣體監(jiān)測儀
批發(fā)價(jià)格
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
起訂量
面議
型號(hào)規(guī)格
HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測的高級(jí)氣體監(jiān)測儀 簡介
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品品牌
HORIBA堀場
產(chǎn)品類型
質(zhì)量流量計(jì)/控制器
可售賣地
面議
價(jià)格區(qū)間
面議
供貨總量
面議
售后服務(wù)
完善
產(chǎn)品簡介
IR-400 可在沉積過程中實(shí)時(shí)監(jiān)測腔室清洗終點(diǎn)。通過優(yōu)化清洗過程，IR-400 減少了清洗時(shí)間和氣體用量。清洗氣體用量減少會(huì)降低對腔室的損害，并增加所有系統(tǒng)部件的壽命。
多氣體監(jiān)測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)
高靈敏度
氣室加熱功能最高可達(dá) 180℃
多重顯示
模擬/數(shù)字通信
HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測的高級(jí)氣體監(jiān)測儀 詳情介紹
功能/特點(diǎn)：
IR-400 實(shí)時(shí)終點(diǎn)監(jiān)測的優(yōu)勢
減少腔室清洗時(shí)間
減少清洗氣體使用量
可重復(fù)和可預(yù)測的清洗過程
延長腔室組件壽命
HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測的高級(jí)氣體監(jiān)測儀產(chǎn)品規(guī)格
關(guān)于進(jìn)佳儀器
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