400-092-5117
HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀 簡介
產品參數
產品品牌
HORIBA堀場
產品類型
質量流量計/控制器
可售賣地
面議
價格區間
面議
供貨總量
面議
售后服務
完善
產品簡介
IR-400 可在沉積過程中實時監測腔室清洗終點。通過優化清洗過程，IR-400 減少了清洗時間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統部件的壽命。
多氣體監測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)
高靈敏度
氣室加熱功能最高可達 180℃
多重顯示
模擬/數字通信
HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀 詳情介紹
功能/特點：
IR-400 實時終點監測的優勢
減少腔室清洗時間
減少清洗氣體使用量
可重復和可預測的清洗過程
延長腔室組件壽命
HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀產品規格
關于進佳儀器
上海進佳科學儀器有限公司，擁有多個國外儀表行業品牌的授權代理證，旗下每一個品牌均歷經市場的考驗。公司團隊擁有豐富的從業經驗以及扎實的專業知識，對各個品牌的產品優勢和市場定位有深入了解。公司始終秉持以客戶為中心的理念，致力于為客戶提供全方位、個性化的服務解決方案。公司代理品牌
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