日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100(SEC-N115MGM)

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100(SEC-N115MGM) 介紹

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100 詳情介紹

SEC-N100質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品概述

HORIBA SEC-N100質(zhì)量流量控制器專為非芯片半導(dǎo)體制程設(shè)計，以滿足該行業(yè)逐步統(tǒng)一的制造標(biāo)準。該系列產(chǎn)品憑借高度的適應(yīng)性，能夠滿足多種制程規(guī)范的需求，提供精確的流量控制和高速響應(yīng)性，是多種高端制造過程中的優(yōu)選設(shè)備。

SEC-N100質(zhì)量流量控制器通信與控制接口

SEC-N100系列支持多樣的通訊模式，包括數(shù)字式和模擬式，及高級網(wǎng)絡(luò)通信協(xié)議如DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT。這些功能使其能夠與不同的控制系統(tǒng)兼容，并提供靈活的配置選項。

SEC-N100質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域

• 光伏制造：過程控制與現(xiàn)場測量
• 功能玻璃干法鍍膜：等離子體發(fā)射控制與過程氣體監(jiān)測
• 藥品制造：冷凍干燥設(shè)備的真空監(jiān)測與控制
• 環(huán)境監(jiān)測：對PM2.5的精確測量
• 光纖生產(chǎn)：流程氣體質(zhì)量流量控制
• 實驗室研究與測試：實驗室用氣體質(zhì)量流量控制

SEC-N100質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特性

• 多模式通信兼容性：包括RS-485、DeviceNet、Profibus和模擬（電流/電壓）接口，確保與其他系統(tǒng)的無縫整合。
• 可調(diào)節(jié)氣體和量程：用戶可便捷地根據(jù)需求更改氣體類型和流量范圍，提高設(shè)備的適用性和靈活性。
• 高精度流量控制：精度達到±1.0%的設(shè)定流量，采用與SEC-Z500系列相同的高級sensor和bypass技術(shù)，確保流量控制的準確性。
• 快速響應(yīng)時間：響應(yīng)時間不超過1秒，在可控流量范圍內(nèi)提供快速調(diào)節(jié)，內(nèi)置PID參數(shù)可用于優(yōu)化響應(yīng)時間。
• 閥門選項：提供電磁閥（至50SLM）和壓電陶瓷閥（100/200SLM）選擇，適用于不同的流量需求。
• 材質(zhì)與設(shè)計：提供橡膠或金屬密封圈，未經(jīng)拋光處理的氣路表面，以及僅VCR接口的設(shè)計，滿足RoHS環(huán)保要求。

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100產(chǎn)品規(guī)格

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