日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100怎么樣

2024-09-02 08:00

在半導體工業中,HORIBA堀場的SEC-N100質量流量控制器展示了其卓越的性能和廣泛的適用性。SEC-N100主要針對非芯片半導體制程而開發,與芯片半導體制程一樣,非芯片半導體工藝也已經形成相對統一的制造標準。SEC-N100系列產品能夠滿足廣大客戶對不同制程規范的要求,體現了它在該領域的適用性和靈活性。

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一、日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100怎么樣

SEC-N100質量流量控制器在通信方式上提供了多種選擇,包括數字式和模擬式通信,如RS-485、DeviceNet、Profibus以及模擬式(電流/電壓)。這種多樣化的通信方式使其能夠與其他系列產品兼容,從而提升了系統集成的便捷性。這一特性不僅簡化了用戶的操作流程,還大大增強了其在不同應用場景中的適應能力。

高精度控制是SEC-N100的一大亮點。其控制精度達到了±1.0%設定流量,得益于選用了與SEC-Z500系列相同的傳感器和旁路設計。這種高精度的控制能夠確保在復雜的半導體制程中實現穩定的流量管理,從而提高產品的制造質量和一致性。快速響應時間也是SEC-N100的一項重要特性,其在可控流量范圍內的響應時間不超過1秒,并且內置PID參數可以調整響應時間。這一特性使其在需要快速調整流量的工藝中表現出色。

SEC-N100還具有不同類型的氣閥,包括電磁閥和壓電陶瓷閥,適用于不同流量范圍的需求。其密封圈材質可選擇橡膠或金屬,進一步提升了產品的多樣性和適用性。此外,氣路表面未經拋光處理和僅有VCR接口設計,雖然看似簡單,但卻足以滿足大多數非芯片半導體制程的需求,充分體現了設計的高效和實用。

滿足RoHS要求使得SEC-N100更加環保和符合國際標準。在當前環境保護日益受到重視的背景下,這一特性為其在市場中的認可度和接受度提供了重要保障。

綜上所述,HORIBA堀場的SEC-N100質量流量控制器以其高精度、快速響應、多樣化通信方式及環保設計在非芯片半導體制程中展現了出色的性能。無論是在系統集成的便捷性、復雜工藝的適應性,還是在環境友好性方面,SEC-N100都表現得尤為突出。

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上海進佳儀器

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