日本HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500怎么樣

2024-09-02 08:00

HORIBA堀場的質量流量計SEC-Z500在半導體制程應用中展現出了卓越的性能。這款設備采用了先進的技術和工藝,使其在實際流量與理論流量之間的差異顯著減少。通過溫度補償回路傳感器,SEC-Z500能夠有效減少摩爾比熱的影響,從而提高流量測量的準確性。此外,多項方程的應用和流量輸出特性數據庫的收集,使得這一設備能夠在不同氣體環境下保持高度的精確性。

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一、日本HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500怎么樣

在流量路徑設計方面,SEC-Z500的內部表面經過精細拋光處理,進一步減少了流量差異。采用的PIEZO閥結構簡單且不會產生熱量,這一特點不僅提高了設備的穩定性,還延長了其使用壽命。高精度的加工和不同流量的Bypass配合sensor的設計,使得每個流量范圍都能得到精確的控制。

PCB設計方面,SEC-Z500采用了數字式調整,減少了電位器的數量,這樣不僅降低了機械部件的損傷風險,還提高了設備的可靠性。通過數據服務器更新sensor數據,確保了設備在長時間使用后的準確性和穩定性。此外,校準工具采用了MolBlock調流量,使得校準過程更加簡便和精確。

SEC-Z500在半導體制程中的廣泛應用,顯示了其在高精度和高穩定性方面的顯著優勢。而SEC-N100作為其重要的補充產品,主要針對非芯片半導體制程而開發,能夠滿足不同制程規范的要求。這一系列的產品不僅在半導體工藝中表現出色,同時也適用于其他高要求的工藝流程。

總的來說,HORIBA堀場的SEC-Z500質量流量計憑借其先進的技術和高精度的設計,為半導體制程提供了可靠的流量控制解決方案。其在溫度補償、流量路徑、PCB設計等方面的創新,使得這一設備在實際應用中表現出色,成為半導體行業中不可或缺的重要工具。

二、上海進佳科學儀器有限公司介紹

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上海進佳儀器

三、上海進佳科學儀器有限公司優勢

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