HORIBA QL系列微孔系統介紹

HORIBA QL系列微孔系統 - 四極桿質量分析儀 MICROPOLE系統

HORIBA QL系列微孔系統中的四極桿質量分析儀 MICROPOLE系統是市場上最小的質譜儀之一，專為高靈敏度和高壓操作設計。其緊湊的尺寸和高性能使其成為許多腔室表征應用的理想選擇，特別適用于需要集成到復雜系統中的場合。

HORIBA QL系列微孔系統核心特性與優勢

• 緊湊與輕便: MICROPOLE系統的體積和重量都極其小巧，僅為傳統殘余氣體分析儀的1/20，使其易于集成到幾乎任何系統中。

• 高性能設計: 該系統配備了9個四極桿的迷你陣列，盡管體積僅為傳統四極桿的一小部分，卻能提供出色的靈敏度。

• 高壓操作能力: MICROPOLE系統能夠在高達0.9Pa（7mTorr, 9 x 10^-3mbar）的壓力下運行，這一特性大大減少了許多應用中對昂貴真空泵的需求。

• 可互換傳感器頭: 傳感器頭在出廠前已進行預調和校準，用戶無需任何微調或專門技術即可輕松在現場更換。

• 網絡化傳感器功能: 通過RS-485接口，一臺PC可監控多達八個傳感器，同時支持無PC的外部I/O掃描操作。

• 用戶友好型軟件: Micropole Scanner™2軟件支持用戶以多種模式監測氣體分壓，包括趨勢圖、光譜圖和條形圖，增強了操作的便利性和多功能性。

HORIBA QL系列微孔系統應用領域

HORIBA QL系列微孔系統的四極桿質量分析儀適用于半導體制造、材料研究、表面科學以及高真空系統的測試和監控。它的高靈敏度和能在較高壓力下操作的特性，特別適合于復雜的科研和工業應用，能夠提供實時、精確的氣體分析數據，優化生產流程和產品質量。

總結而言，HORIBA QL系列微孔系統的四極桿質量分析儀 MICROPOLE系統，以其創新的技術和緊湊的設計，為精確氣體分析提供了強大的工具，是實驗室和工業環境中不可或缺的設備。