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日本HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500 簡介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

HORIBA堀場

產(chǎn)品類型

質(zhì)量流量計(jì)/控制器

可售賣地

面議

價(jià)格區(qū)間

面議

供貨總量

面議

售后服務(wù)

完善

產(chǎn)品簡介

目前的SEC-Z500X 系列產(chǎn)品主要使用于半導(dǎo)體制程, 而SEC-N100 作為它的重要補(bǔ)充，主要針對非芯片半導(dǎo)體制程而開發(fā)。同半導(dǎo)體制程一樣，非芯片半導(dǎo)體工藝也已經(jīng)形成相對統(tǒng)一的制造標(biāo)準(zhǔn)， SEC-N100 系列產(chǎn)品能夠滿足廣大客戶對不同制程規(guī)范的要求。

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500(SEC-Z547MGX) 介紹

型號：SEC-Z547MGX
精度：±1.0% S.P.(Flow rate>35%F.S.) ±0.35% F.S.(Flow rate≤35%F.S.)
量程：200SLM
電源：電源24VDC
輸出：EtherCAT

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500 詳情介紹

HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500減少實(shí)際流量和理論差異

HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500，Sensor
1.使用溫度補(bǔ)償回路傳感器(減少摩爾比熱影響)
2.多項(xiàng)方程來糾正流量
3.收集流量輸出特性數(shù)據(jù)庫(N2和實(shí)際氣體)
4.更新sensor 數(shù)據(jù) by Data Server
HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500，Bypass
1.提高加工精度
2.安裝不同流量的BP配合sensor (Fixed flow ratio every Bin number
HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500，F(xiàn)low path
1.內(nèi)部表面拋光，減少流量差異
2.采用PIEZO閥，結(jié)構(gòu)簡單，沒有熱量產(chǎn)生。
HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500，PCB
1.數(shù)字式調(diào)整
2.更少電位器。減少改變機(jī)械霧部件可能造成的損傷。(Cancel of backrush)
Calibration tool
1.采用 MolBlock 調(diào)流量

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500產(chǎn)品規(guī)格

日本HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500參數(shù)

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