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優點:
壓力控制更加穩定和精確
即使壓差非常低,也使用精度壓電閥來控制壓力。安裝了一個精度的壓力傳感器,用于測量<1%F.S范圍內的出口壓力。質量流量傳感器(可選)
通過應用HORIBA STEC 質量流量產品中成熟的流體控制技術,該產品能夠實現微小的差壓控制,并添加氣體流量監測(帶質量流量傳感器)以實現自診斷功能。
符合 RoHS 標準
GR-300系列使用不破壞環境且符合RoHS法規的零件



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