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HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統 簡介
產品參數
產品品牌
HORIBA堀場
產品類型
質量流量計/控制器
可售賣地
面議
價格區間
面議
供貨總量
面議
售后服務
完善
產品簡介
GR-300 系列可以控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統固定到位。
GR-300 系列的穩定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統中氦氣和氬氣流量的理想選擇。
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(GR312F) 介紹
型號：GR312F
壓力控制范圍：1-100%
壓力：13.33KPA(100Torr)
壓力精度：±0.5%FS
壓力輸出：0-10VDC
電源：±15VDC
壓力控制范圍：1-100%
壓力：13.33KPA(100Torr)
壓力精度：±0.5%FS
壓力輸出：0-10VDC
電源：±15VDC
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統 詳情介紹
優點：
壓力控制更加穩定和精確
即使壓差非常低，也使用高精度壓電閥來控制壓力。安裝了一個高精度的壓力傳感器，用于測量<1%F.S范圍內的出口壓力。
質量流量傳感器（可選）
通過應用HORIBA STEC 質量流量產品中成熟的流體控制技術，該產品能夠實現微小的差壓控制，并添加氣體流量監測（帶質量流量傳感器）以實現自診斷功能。
符合 RoHS 標準
GR-300系列使用不破壞環境且符合最新RoHS法規的零件
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統產品規格
關于進佳儀器
上海進佳科學儀器有限公司，擁有多個國外儀表行業品牌的授權代理證，旗下每一個品牌均歷經市場的考驗。公司團隊擁有豐富的從業經驗以及扎實的專業知識，對各個品牌的產品優勢和市場定位有深入了解。公司始終秉持以客戶為中心的理念，致力于為客戶提供全方位、個性化的服務解決方案。公司代理品牌
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