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HORIBA堀場壓力不敏感型數字式質量流量控制器 SEC-Z700X，延續了 HORIBA STEC 半個世紀以來在流體計量與控制領域的技術積累。該系列在質量流量計技術和品質方面表現突出，廣泛應用于各類工業和科研工藝，能夠為...

HORIBA堀場壓力不敏感型數字式質量流量控制器 SEC-Z700S 是一款超速響應型 MFC（Mass Flow Controller），延續了 HORIBA STEC 半個世紀以來在質量流量計和流體控制技術上的深厚積累。該系列產品特別適用于對精度...

HORIBA質量流量計S48-BR111 產品簡介 S48 系列質量流量控制器由 HORIBA Precision Instruments（中國）生產制造，并采用 HORIBA STEC（日本）技術。HORIBA 在流體控制與質量流量計研發領域深耕超過半個世紀...

HORIBA QL系列微孔系統產品簡介 HORIBA QL系列微孔系統基于四極桿質量分析儀 MICROPOLE 技術，是目前尺寸極為緊湊的質譜儀系統之一。其獨特的設計不僅使安裝更為方便，還能滿足多種腔室表征應用的需求。四極...

HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統壓力控制器 產品概述 HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統壓力控制器 GR-312 是一款專為半導體晶圓背面冷卻工藝而設計的高性能壓力控制設備。該系列產品采用先進的壓電閥與...

HORIBA 堀場 S49 33/MT 產品概述 HORIBA STEC S49 33/MT 是一款高性能氣體質量流量控制器，采用熱式傳感原理，專為精密工業氣體控制場景設計，具備穩定的流量調節性能和優異的環境適應能力。該系列產品由日...

日本HORIBA堀場推出的R600系列質量流量控制器，是一款集成數字通信與模擬控制功能的氣體流量控制解決方案。該產品適用于各類對壓力、流量有精密調節需求的工業場景，可在多種制程條件下穩定運行，具備良好的適應...

隨著半導體技術朝向更高密度、更復雜結構不斷推進，液體材料在制程中的應用范圍持續擴大，特別是在300nm及以下的晶圓工藝中，對液體流量控制的精度和潔凈度提出了更高要求。HORIBA堀場基于多年流體測量技術積累...

HORIBA SEC-Z500 系列質量流量計 是專為芯片級半導體制程工藝而設計的高性能流量測量與控制設備。其設計高度集成溫度補償、數字校準、內部結構優化和高靈敏度傳感器等先進技術，滿足芯片制造領域對流量控制穩定...

HORIBA熱式質量流量控制器SEC-N100 是一款面向非芯片半導體制程等多行業應用場景的高精度質量流量控制設備。該產品融合HORIBA在氣體流體控制技術方面的研發積淀與工程經驗，在工藝兼容性、響應速度與通訊接口方...