HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)

2025-08-27 17:30

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)產(chǎn)品簡介

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)基于四極桿質(zhì)量分析儀 MICROPOLE 技術(shù)，是目前尺寸極為緊湊的質(zhì)譜儀系統(tǒng)之一。其獨特的設(shè)計不僅使安裝更為方便，還能滿足多種腔室表征應(yīng)用的需求。四極桿質(zhì)量過濾器微型陣列結(jié)構(gòu)，讓該系統(tǒng)能夠在高于傳統(tǒng)系統(tǒng)的壓力下運行，從而減少了對額外差動泵送設(shè)備的依賴。

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)產(chǎn)品特點

  • 緊湊輕巧
    體積極小，重量輕盈，與傳統(tǒng)殘余氣體分析儀相比，體積縮小至 1/20，更容易集成到不同設(shè)備系統(tǒng)中。

  • 高性能檢測
    配備 9 個四極桿迷你陣列，在小巧的體積下實現(xiàn)優(yōu)異靈敏度，保證檢測精度與可靠性。

  • 高壓操作能力
    可在高達 0.9Pa（7mTorr，9×10?³mbar）的壓力下使用，減少甚至消除了許多應(yīng)用場景中對昂貴真空泵的需求。

  • 模塊化傳感器設(shè)計
    校準(zhǔn)后的可互換傳感器頭，用戶可在現(xiàn)場快速更換，無需額外技術(shù)調(diào)整，大幅提升操作便利性。

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)軟件與系統(tǒng)集成

  • 網(wǎng)絡(luò)化管理
    通過 RS-485 接口，一臺 PC 可同時監(jiān)控多達 8 個傳感器；同時支持外部 I/O 接口，實現(xiàn)無需 PC 的掃描操作。

  • 用戶友好型軟件
    配套的 Micropole Scanner™2 軟件，提供趨勢圖、光譜圖、條形圖等多種監(jiān)測模式，幫助用戶更直觀地掌握氣體分壓變化。

上海進佳科學(xué)儀器有限公司長期供應(yīng) HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)，并為科研院所、半導(dǎo)體及工業(yè)應(yīng)用客戶提供選型咨詢與售后支持，助力用戶實現(xiàn)高效的殘余氣體分析與真空環(huán)境監(jiān)測。