質量流量計質量流量控制器實際氣體的校準和因素轉換方法
質量流量儀表以氮氣氣體作為標準校準。熱式傳感器精度不能保證,除非他們用實際氣體校準。我們公司用于標定的實際氣體為N2, O2, H2, He, CO2和Ar 。關于其他氣體,根據一定的轉換系數CF,可以變為N2校準。
舉例來說,當質量流量計中是Ar,我們用N2來校準。由于AR的CF是1.4,比質量流量器的讀數大1.4倍的Ar流入。換言之, Ar的流量 = 1.4×N2質量流量器的讀數。CF則是計算各種氣體的基礎上積累所得的數據。然而 ,某種氣體CF可能不完全一樣,取決于實際氣體的狀態(溫度和壓力),質量流量器傳感器的類型,層流素子的組成。 公布的CF值只是作為一個標準。
如果您希望用實際氣體標定,而不使用CF,請告知實際氣體,我們將用它來校準(這將產生單獨的費用)。然而,我們在鑒于產品的和設施的安全時不能接受一些危險氣體。關于細節,請先與我們聯系。