金屬墊片面密封接頭在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

        金屬墊片面密封接頭在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

        【摘要】半導(dǎo)體行業(yè)不斷追求體積更小、功耗更低的芯片,因此工藝制程節(jié)點(diǎn)越來越小,這對工藝清潔度提出了更高的要求。清潔度不達(dá)標(biāo),可能導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量缺陷,甚至擴(kuò)散污染整條產(chǎn)品線,造成產(chǎn)品全部報廢的后果。
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        金屬墊片面密封接頭在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用介紹

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        在半導(dǎo)體行業(yè)使用的純流體系統(tǒng)中,接頭的選擇是關(guān)鍵點(diǎn)之一,常見的選擇是焊接接頭,但焊接接頭不適用于那些需要定期更換或維護(hù)的連接,而采用非金屬材料的 O 形圈密封接頭則可能面臨和介質(zhì)不兼容的問題。有沒有一種接頭即方便安裝和拆卸,又能和介質(zhì)兼容,還能保證可靠的密封呢? 答案是金屬墊片面密封接頭。這種接頭的密封元件采用金屬墊片,其主要優(yōu)點(diǎn)如下:

        金屬對金屬硬密封,密封性好:擰緊螺母時,兩端的接管會從兩個方向擠壓金屬墊片,由于接管密封面的硬度>金屬墊片(飛托克的316L不銹鋼材質(zhì)的接管密封面比同種材質(zhì)的墊片硬度109HV,比鎳材質(zhì)墊片硬度158HV),因此金屬墊片會產(chǎn)生輕微的變形,接管和金屬墊片之間形成緊密的面密封以保證密封性能,飛托克產(chǎn)品在使用316L不銹鋼材質(zhì)鍍銀墊片、鎳材質(zhì)鍍銀墊片和銅墊片時氦氣泄漏率 4x10-9 std cm3/s,使用316L不銹鋼材質(zhì)和鎳材質(zhì)電解拋光墊片時氦氣泄率 4x10-11 std cm3/s;

        可重復(fù)拆裝使用:擠壓金屬墊片不會損傷接管密封面,因此可以重復(fù)拆裝使用,僅需每次更換密封墊片,維護(hù)成本低;

        無死區(qū),不易殘留,易吹掃:金屬墊片面密封接頭的結(jié)構(gòu)使得密封元件能被氣體完全吹掃,因而消除了殘留導(dǎo)致的污染風(fēng)險;

        安裝和拆卸方便:這種接頭安裝和拆卸簡單,只需要常規(guī)工具即可完成,可以大幅提高安裝和維護(hù)的效率。

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