日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100特點

近些年來，非芯片半導體制程逐漸成為行業的一個重要分支，而其中的關鍵設備之一就是質量流量控制器。HORIBA公司推出的SEC-N100質量流量控制器，正是瞄準這一需求精心打造的杰出產品。

一、日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100特點

SEC-N100系列質量流量控制器特別適用于非芯片半導體工藝，這類工藝雖然各有特色，但已經形成了相對統一的制造標準。SEC-N100能夠精準地滿足各類制程規范的要求。它的通信方式多樣，包括數字式通信（RS-485、DeviceNet、Profibus）和模擬式通信（電流/電壓）。這種多樣性使得SEC-N100可以與其他系列的產品無縫兼容，用戶能夠根據實際需求選擇最佳的通信方式。

該質量流量控制器的另一個顯著特點是其對復合氣體和復合量程的支持。用戶可以方便地在客戶端更改對應的氣體和量程，從而確保生產過程的靈活性和高效性。而這一切并不會影響到其高精度的控制性能。SEC-N100使用與SEC-Z500系列相同的傳感器和旁路，確保了±1.0%設定流量的準確度。此外，它的響應時間短至1秒，內置的PID參數還允許用戶根據實際需求調整響應速度。

SEC-N100不僅在操作上表現出色，其設計細節也值得稱道。它提供多種氣閥種類，包括電磁閥（適用于流量在50SLM以內）和壓電陶瓷閥（適用于100/200SLM的流量）。這些不同類型的氣閥可以滿足不同工藝和應用場景的需求。同時，SEC-N100的密封圈材質可以選擇橡膠或金屬，以適應不同工作環境和介質的要求。此外，其氣路表面未經拋光處理和僅有的VCR接口設計，使其在設備連接和氣體流動方面表現出色。并且該產品滿足RoHS標準，充分考慮了環境保護的要求。

總的來說，HORIBA的SEC-N100質量流量控制器在多重功能、精確控制、快速響應以及靈活配置等方面表現得非常突出。經過科學嚴謹的設計和多樣性的功能集成，它能夠應對復雜多變的非芯片半導體制程，不僅提高了工藝效率，還保障了產品的穩定性和一致性。

二、上海進佳科學儀器有限公司介紹

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三、上海進佳科學儀器有限公司優勢

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