HORIBA數字式液體質量流量計LF/LV介紹
日本HORIBA堀場數字式液體質量流量計LF/LV
隨著半導體器件快速一體化的發展，越來越多的細節需要考慮其中，同時新的材料也被引入300nm晶圓制程以確保產品性能。在這樣的背景下，更多的液體被應用到半導體生產過程中，流量需求不斷增大。作為該領域的領導者，HORIBA STEC提供了一整套的液體源汽化控制系統，利用加熱、直接注入、混合注入等不同方式確保平穩有效的將氣體傳送到反應室。自動供液系統能不間斷地安全可靠地傳輸液體，從而提高工作效率，同時有效降低了操作員的手動操作以及制程污染風險。
LF-F液體質量流量計核心功能
數字式液體質量流量計LF-F是一款具備冷卻測試方式的液體質量流量計，可精確檢測低沸點和高粘度液體的流量。該儀器內部進行超潔凈處理并符合RoHS環境標準，是半導體行業流量控制的關鍵設備之一。
- 提供超低微小流量檢測，適合精密應用。
- 抗壓性達10MPa，確保設備在高壓環境下穩定運行。
- 超潔凈設計，有效減少污染風險。
LV-F液體質量流量計核心功能
數字式液體質量流量計LV-F同樣具備冷卻測試方式，可精確控制低沸點和高粘度液體的流量。該設備內部也進行了超潔凈處理，并符合RoHS環境標準，是確保生產過程高效運轉的理想選擇。
- 提供超低微小流量控制，滿足復雜工藝需求。
- 可精準控制低沸點和高粘度液體，保證產品質量。
- 抗壓性1MPa，適用于多種工作環境。
- 超潔凈設計，降低制程污染。
典型應用場景
LF-F和LV-F流量計廣泛應用于半導體制造、光纖生產、生物制藥等領域。在300nm晶圓制程中，精確的流量控制能夠確保產品性能，同時減少浪費。通過自動供液系統的應用，這些流量計能夠持續提供高效、可靠的液體傳輸，極大地提高了生產效率。
優勢亮點總結
日本HORIBA堀場數字式液體質量流量計LF/LV憑借其超潔凈設計和高抗壓性，成為半導體行業不可或缺的流量控制設備。它們的精確性和可靠性有效減少了手動操作的需要，并降低了制程污染的風險。同時，上海進佳科學儀器有限公司作為HORIBA的授權代理，確保提供高品質的產品和專業的技術支持。
公司介紹及聯系信息
上海進佳科學儀器有限公司位于上海浦東新區，長期專注于為電子半導體、光纖、生物制藥等高科技行業提供流量控制與過程連接解決方案。公司與美國KING、Dwyer、degreeC、日本HORIBA、YAMATO、韓國TKF、SUPERLOK等國際知名品牌保持長期合作關系，其中Dwyer已代理20年、HORIBA已代理15年。公司配備專業工程師團隊，提供選型咨詢、方案推薦、定制化配件、試用樣機申請，并支持遠程調試、電話指導或現場技術服務。所有產品出廠前經過檢測，提供質保、退換貨與維修。公司在價格穩定、供貨周期可控、技術支持完善、售后服務及時以及二十多年行業積累等方面具有優勢。
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