HORIBA IR-400 高級氣體監測儀：實現腔室清洗終點的精準監控

一、HORIBA IR-400 產品概述

在半導體制造等高精度工藝中，等離子體腔室的定期清洗對于維持工藝穩定性至關重要。HORIBA 推出的 IR-400 系列高級氣體監測儀，正是為應對這一關鍵環節而開發的專業設備。該儀器可在清洗過程中實時監測清洗氣體（如 SiF? 和 CF?）的濃度變化，精準識別腔室清洗終點，從而大幅提升工藝控制能力。

IR-400 屬于 HORIBA 在紅外氣體分析領域的代表性產品之一，融合了高靈敏紅外檢測技術、多通道分析能力與高溫耐受性能，是眾多集成電路、平板顯示、LED 等制造企業優化清洗工藝的關鍵工具。

二、HORIBA IR-400 核心技術參數解析

HORIBA IR-400 具備以下關鍵技術指標與性能特點：

項目	參數說明
檢測氣體	支持多氣體監測，主要為 SiF?、CF?（IR-422）
檢測方式	紅外吸收法，非分光紅外（NDIR）技術
響應時間	快速響應，可實時檢測濃度變化
加熱能力	腔體加熱功能最高可達 180℃
顯示與輸出	多重顯示界面，支持模擬輸出/數字通信
安裝方式	可嵌入式或獨立使用，支持與主系統聯動控制

通過以上配置，IR-400 能夠精準識別清洗氣體的濃度波動，從而實時判斷清洗終點，避免過度清洗。

三、HORIBA IR-400 典型應用場景

IR-400 廣泛應用于以下工藝流程與行業中：

• 半導體制造：CVD、PECVD 腔體清洗環節終點判斷

• FPD（平板顯示）：大尺寸清洗腔室的清洗氣體濃度監控

• LED 工藝：在藍寶石基板處理或外延腔室中對 CF? 使用情況進行精控

• 光伏制造：氣體使用成本控制與設備壽命優化

在這些場景中，IR-400 的實時響應能力與可預測清洗終點技術，可幫助工藝工程師穩定工藝窗口、縮短清洗周期，并降低清洗氣體浪費。

四、HORIBA IR-400 優勢亮點總結

與傳統經驗判斷或間接監控手段相比，IR-400 系列具備以下顯著優勢：

• 縮短清洗時間：基于實時數據，避免過度清洗，提高設備利用率；

• 降低氣體用量：通過準確判斷終點，顯著減少 CF?、SiF? 等昂貴氣體使用；

• 提高重復性：每次清洗過程穩定可控，提升工藝一致性；

• 延長腔室壽命：減少不必要的氣體轟擊，保護反應腔與相關部件；

• 靈活通信接口：支持模擬與數字輸出，輕松集成現有工藝系統；

• 高溫適應性強：腔體加熱功能保障測量精準性，避免冷凝干擾。

五、HORIBA IR-400 搭配推薦與兼容性說明

IR-400 可與 HORIBA 的質量流量控制器（如 SEC-Z500 系列）、壓力控制器（如 UR-Z700）實現系統協同運行，實現閉環控制。推薦搭配使用：

• HORIBA 數字流量控制器，實現清洗氣體精準計量；

• 配套采樣氣路組件，確保氣體無污染傳輸；

• 工藝系統聯動通訊模塊，便于報警/信號集成。

如客戶已有自主清洗系統，IR-400 亦支持外掛式數據采集方式，與DCS或MES系統實現對接。

六、上海進佳科學儀器有限公司的服務保障

作為 HORIBA 品牌在中國的長期授權合作伙伴，上海進佳科學儀器有限公司不僅提供 IR-400 系列的現貨銷售與技術選型服務，更為用戶在腔室清洗工藝優化方面提供全方位支持。

• 公司位于上海浦東，專注服務半導體、光纖、生物制藥等高端制造行業已逾20年；

• 擁有 HORIBA 合作15年經驗，深度了解其產品性能與工藝應用；

• 提供技術選型指導、樣機試用、配件定制、遠程調試與本地化售后；

• 所有出廠設備均通過質量檢測，具備一年質保；

• 與多家芯片制造企業、高校研究院、LED封裝廠商建立長期合作，服務成熟穩定。

不論是新建產線的儀器配置，還是已有系統的設備升級，上海進佳都能提供匹配工藝需求的個性化方案。

七、HORIBA IR-400 采購建議與服務引導

若您首次接觸終點監測儀器，建議聯系技術團隊提供以下信息，以便快速推薦型號與配置：

• 清洗工藝所使用的氣體種類及流量范圍；

• 腔室管路溫度與安裝環境；

• 是否需要聯動輸出或系統集成需求；

• 是否希望申請樣機試用或定制配件。

可通過官網留言、郵件或電話與銷售工程師聯系，獲取產品技術資料與報價方案。